合肥晶合集成電路有限公司
發布日期：2020-07-17????瀏覽次數：122
項目名稱：廠務機電改造擴充工程
工程地點：安徽省合肥市新站區綜合保稅區內西淝河路88號
建設單位：合肥晶合集成電路有限公司
工程內容：本項目為既有建筑內部改造,改造部分為現有FAB樓建筑的N1廠 FAB隔間工程改造，工程內容包括隔間改造、新增工藝配電盤、新增通風空調工程、制程排氣系統擴充、給排水工程擴充及潔凈室內新增電控點位等
改造建筑面積：1200 平方米
建筑層數：1F/2F/3F
結構類型：鋼混 框架剪力墻勁性結構
Cu區 隔間
I-Line 定位
TURSS 酸排氣
Cu區 L25 Divider
Pump區 FCU及CVD排氣
HPM L20 AHU
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